如何选择掩膜支撑与对准装置的型号？

我们的掩膜支撑与对准装置的主要差别如下图所示：

从样品托类型上分为两大类：1，标准型XS系列，专为Omicron的标准Flag-style样品托而设计；2，考虑到一些用户的设备并非Flag-style的样品托，我们为该部分用户提供兼容他们样品托的定制化产品，即XC系列。

如果所要制备的器件涉及异质结，并且尺寸较小，则选择零对准误差的型号，包括X-S03，X-S04，X-C02。这三种型号采用了特殊的掩膜板对准装置，可以使掩膜板严格固定在同一位置，从而完全消除了更换不同掩膜板后由于掩膜板位置变动而产生的误差。

如果经常使用不同厚度的衬底，并且衬底比较容易断裂，则选择配备弹性衬底容纳装置的型号，如X-S02，X-S04，XC-01。这三种型号配置了弹性零件，可以兼容不同厚度的衬底，并且提供合适的力，固定衬底的同时，避免衬底和掩膜对准装置因为受力过大而断裂或变形。

如果所要制备的器件，不涉及异质结，而且衬底厚度不变（如同种硅片），则X-S01即可满足需求。一个典型例子是单一线形沟道的光电探测器件。