材质：可选不锈钢、钼、钽、钨等
衬底厚度：0.1 – 2 mm (兼容厚度变化范围0.2 mm以内)
掩膜板材质：可选：不锈钢、钼、钽、钨等
掩膜板厚度：可选0.05 – 0.1 mm
掩膜板与衬底间距：可选0.05 – 0.1 mm
掩膜板对准误差：< 20 μm
最高使用温度：400 ℃(不锈钢) – 1000 ℃ (钼、钽、钨)
可制备最小器件尺寸：10 μm (光纤激光)，5 μm (电化学刻蚀)，1 μm (飞秒激光切割)
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