江苏西迈科技有限公司先进半导体材料和高端设备的研发及制造

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标准型X-S02：普通版+弹性样品托

规格及关键参数

样品托类型：标准Omicron旗式样品托

材质：可选不锈钢、钼、钽、钨等

装置尺寸：19 mm × 21 mm × 6 mm

衬底厚度：0.1 – 2 mm (兼容厚度变化范围0.2 mm以内)

衬底尺寸：长 7.65 – 8.85 mm，宽 5.75 – 8.15 mm

掩膜板材质：可选：不锈钢、钼、钽、钨等

掩膜板厚度：可选0.05 – 0.1 mm

掩膜板与衬底间距：可选0.05 – 0.1 mm

掩膜板对准误差：< 20 μm

最高使用温度：550 ℃

可制备最小器件尺寸：10 μm (光纤激光)，5 μm (电化学刻蚀)，1 μm (飞秒激光切割)

标准型号

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江苏西迈科技有限公司是一家高科技型企业。专注于新一代半导体材料及设备的研发与制造。公司研发团队由新加坡国立大学、牛津大学和德国普朗克固体研究所等世界顶尖大学和研究院的科学家组建而成。